据消息报道,三星电子近日研发成功了全球首款8GB容量的MCL NAND闪存芯片,并开创性地使用了30nm工艺。不过在欣喜之余,三星又表示这种创新性的芯片要到2009年才会投产,届时大容量的存储卡将成为现实。
据悉,为了将生产工艺改进到30nm,三星应用了新的“自对准双曝光技术”(SaDPT),融自对准技术和193nm波长光源ArF两次曝光技术于一身。
(第三媒体 2007-10-24)
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